这家苏州公司第17台光刻机发往欧洲

江苏海思半导体科技有限公司日前官宣，10月12日来自境外的客户验收代表团走进公司的洁净车间，对一台即将出口的全自动光刻机进行出厂验收。按照双方约定，验收通过后设备随即启程发运。自2024年算起，这是该公司发往境外的第17台光刻设备。紧接着的10月13日，又有一台8英寸全自动光刻机完成出厂调试与客户验收，正式装车发运。

先要说清一件事，这家江苏海思半导体科技有限公司，和大家熟悉的华为旗下海思技术有限公司不是同一家。产品定位也不一样。10月13日发运的那台，是一台面向8英寸、也就是200毫米晶圆的掩模对准全自动光刻机，交付后用来做图形化制程，加工对象是硅基的Micro LED晶圆。掩模对准这四个字，说明它做的是对准和投影曝光这一段，服务的对象并不是逻辑芯片产线。

把产品线摊开看更清楚。这家公司的设备覆盖2至12英寸晶圆的单面和双面对准光刻，应用方向涉及MEMS、化合物半导体和集成电路，也做功率器件，还有3D封装里的TSV打孔，以及AR和Micro LED。分辨率一路走来是这样：2019年，1微米级的全自动接触式机型实现规模商用；2023年，商用步进式光刻机上市；2024年，推出350纳米和500纳米分辨率的步进式投影光刻机。公司方称核心团队在黄光区光刻工艺上摸爬了15年，这个年限大致对应国内这一批设备厂商从代理、维修起步，再走到自研整机的完整周期。

这个精度区间放在行业坐标里是什么位置，其实不难判断。先进逻辑制程的设备早已走到几纳米，和这里的微米到几百纳米完全是两个赛道。但成熟制程恰恰是设备需求最密的地方——传感器、功率器件、显示面板、先进封装，这些领域的产线数量多、扩产频繁，对设备的要求是稳定、够用、交付快，而不是把线宽再压小一个量级。国内厂商在这个区间里能拿出整机并持续出货，本身就是一件事。

出口这件事还有另一层意思。光刻设备属于半导体制造里技术门槛最集中、出口管制最敏感的一类产品，把整机卖到境外市场，需要过客户的技术验收、稳定性验证和服务体系这几道关。第17台这个累计数字，说明至少有客户在复购，也说明售后和备件这套体系能跟上。目前该公司把苏州相城和成都天府新区作为两个基地。

当然，把设备卖到客户产线上和把市场拿下来是两码事。国际厂商在成熟制程光刻设备上积累了几十年，客户产线上的工艺配方、维护习惯、备件网络都围绕它们建立，替换成本不低。国产设备想扩大份额，靠的还是单机验证跑得够久、故障率压得够低。第17台是个起点性质的数字，后面能不能把客户从一台变成一条线，才是真正的考题。好在成熟制程设备的验证周期比先进制程短，客户换线的心理门槛也低一些，这对国产厂商争取份额是件好事。